Високовакуумна горизонтальна піч

- високовакуумна камера повинна бути моноблочного виконання та виготовлена з нержавіючої сталі марки AISI 304 або з електрополіруванням, або з скло-кульковою струменевою обробкою всіх поверхонь вакуумуємого об’єму; - в печі повинна бути передбачена … Ще інтегрована в загальну конструкцію компактна шафа управління, яка повинна забезпечувати повну автоматичну роботу вакуумної печі по заданій оператором програмі, після натискання кнопки "Пуск"; - шафа управління печі, як і весь моноблок повинен бути виготовлений з нержавіючої сталі AISI 304 (що дозволяє використання печі в умовах Clean room Class1000), та мати промисловий моноблочний комп'ютер з сенсорним 15" екраном і декілька програмованих електронних цифрових блоків, які управляють всіма вакуумними, газовими, тепловими, сигнальними та захисними пристроями та елементами для повної автоматизації технологічного вакуумного процесу; - високовакуумна піч повинна мати відповідний високо вакуумний електропневматичний шибер з управляючим електронним блок-контроллером, іншу високовакуумну арматуру. Піч повинна мати відповідний високовакуумний антивібраційний пристрій для високовакуумного з’єднання з фланцем CF-F діаметром 200 мм високовакуумної відкачної станції (надається Замовником) на основі турбомолекулярного насосу продуктивністю не менше 250 л/с і форвакуумного безмасляного насосу; - піч повинна мати легкодоступні для обслуговування водоохолоджувану і кріогенну пастки для уловлювання парів продуктів реакцій з вакуумної камери, для запобігання забрудненню турбомолекулярної відкачної станції, а також мінімізації шкідливих речовин у вихлопі; - піч повинна бути оснащена нагрівачами спеціальної конструкції на базі високочистих вольфрамових сплавів, які з одного боку – повинні забезпечувати високу чистоту вакууму (>99,99%), а з другого боку - забезпечувати високу ізотермічність у просторі всієї робочої зони 115х115х305 мм3 - градієнт температури повинен бути <0,007К / 1мм в будь-якій точці інтервалу температур (693-1013)К і градієнт температури повинен бути <0,015К / 1мм в будь-якій точці інтервалу температур (1013-1423)К; - високовакуумна камера печі повинна мати екранну теплоізоляцію з 4 екранів чистого молібдену і 3 екранів з електрополірованої нержавіючої сталі AISI 316TL; - піч повинна мати регульовану систему охолодження навантаження інертним газом; - високовакуумна камера печі (всі фланці, портали, стінки корпусу) повинні бути оснащені водоохолоджуваними кожухами з нержавіючої сталі AISI 304 для охолодження камери знесоленою проточною водою з зовнішнього джерела; - всі струмовводи і кабелі – повинні бути водоохолоджувані з зовнішнього джерела знесоленої проточної води; - піч повинна бути обов'язково оснащена датчиками протоку і загальною зливною воронкою для автоматичного та візуального контролю протоку охолоджуючої води. У разі відсутності протоку автоматика повинна терміново подавати звуковий сигнал аварії оператору і відключати нагрівачі; - система контролю температури печі – тризонна, двоконтурна, зі зворотнім зв'язком по температурі та потужності; - температура повинна регулюватися термопарами тип В в молібденових кожухах - 3 шт.; - кількість контрольних термопар тип В в молібденових кожухах - 2 шт; - потужність нагрівачів вимірюється спеціалізованими контролерами, які повинні вимірювати TruRMS значення; - високовакуумна піч повинна бути встановлена на міцній металічній рамі, мати знепилені висувний столик і м’який стілець для зручності оператора.